第一十四章-真假1微米(1/3)
“这些p技术也要交给我们俩弄吗”
今天得到信息量太大了。两☫个年轻人很有种目不🄻🂳🄻🂳暇接的感觉。
多重图案🛝🝚技术，一听就明白，也就敢照亮照亮。但是p技术，涉及🔒⛮🝵的就是就是真刀真枪了。
机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工🀙☶精度，这里面就没有🔒⛮🝵一个是简单的。
他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时🍰间太短，基础知识不牢靠。
“这几个技术，我💳会交给其他人进行研🕈🇨发。”
这个p技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比，谁先采用了🗙。早采用，早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是为🛝🝚什么这个技术，被叫做真1微米的原因🄻🂳。
p技术摆在前台做💳幌🗍🚓子，多重图案技术藏在后面。
“是要交給赵主任他们吗”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上面，这两年也⚔👋做出了些成果，但毕竟底蕴不足。
另外，术业有专攻。只靠一个专业的十几个人，去☦包打天🙙下，根本就不现实。
赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面🄻🂳，☦狂奔了🙙起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两☦台设备，一两个设备厂家☗能搞定的。🕡
引入第三方力量，就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作用，主要🕈🇨还🗛是幌子。
“我们现在干什么”
“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看ee和sap这两条路，哪一条更容易实现，难度最低🙎。”
多重🛢🞆👹图案技术🁩法，有两条实现路线。一条是ee，另一条是sap
e⛧🜱e是将设计版图分解成两套🜣🝛独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案。
sap是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积deposition在核心图案两侧形成侧墙sidewa，最后通过🀟♮刻蚀和修剪曝光来实现所要🄼🂻的图形。
“这两条路，是⚍🐉♭你提出来的，你自己不知🗛道”🀙☶
今天得到信息量太大了。两☫个年轻人很有种目不🄻🂳🄻🂳暇接的感觉。
多重图案🛝🝚技术，一听就明白，也就敢照亮照亮。但是p技术，涉及🔒⛮🝵的就是就是真刀真枪了。
机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工🀙☶精度，这里面就没有🔒⛮🝵一个是简单的。
他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时🍰间太短，基础知识不牢靠。
“这几个技术，我💳会交给其他人进行研🕈🇨发。”
这个p技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比，谁先采用了🗙。早采用，早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是为🛝🝚什么这个技术，被叫做真1微米的原因🄻🂳。
p技术摆在前台做💳幌🗍🚓子，多重图案技术藏在后面。
“是要交給赵主任他们吗”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上面，这两年也⚔👋做出了些成果，但毕竟底蕴不足。
另外，术业有专攻。只靠一个专业的十几个人，去☦包打天🙙下，根本就不现实。
赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面🄻🂳，☦狂奔了🙙起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两☦台设备，一两个设备厂家☗能搞定的。🕡
引入第三方力量，就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作用，主要🕈🇨还🗛是幌子。
“我们现在干什么”
“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看ee和sap这两条路，哪一条更容易实现，难度最低🙎。”
多重🛢🞆👹图案技术🁩法，有两条实现路线。一条是ee，另一条是sap
e⛧🜱e是将设计版图分解成两套🜣🝛独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案。
sap是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积deposition在核心图案两侧形成侧墙sidewa，最后通过🀟♮刻蚀和修剪曝光来实现所要🄼🂻的图形。
“这两条路，是⚍🐉♭你提出来的，你自己不知🗛道”🀙☶